Thermal Chuck 溫控功能 可控制加熱與冷卻溫度,適用於各類半導體測試 溫度範圍:-55℃ 至 +350℃ 可依規格搭配加熱器、冷卻器及加熱片組合 尺寸規格 可提供 50mm、4 吋至 12 吋等不同尺寸選擇 測量適用性 支援微電流、高電壓及大電流測量 使用特性 採用直流電源供應,降低噪音,提升測量精度