高速與精密電性量測

奈米世界的困境:雜訊無所不在
在半導體元件的物理極限下,真實訊號往往被淹沒在雜訊的汪洋中。

設計哲學:從物理根源根除雜訊

 
拒絕治標不治本
傳統探針台僅是在架構上疊加屏蔽功能。
SJD的量測堡壘
我們從零開始,將抗干擾思維融入每一個設計環節。
目標不是「抑制」雜訊
而是從物理上消除雜訊產生的可能性。
 

精准的基石:三大核心技術

訊號的絕對完整性
(Absolute Signal Integrity)

根除電氣路徑中的雜訊根源,確保訊號純淨無瑕。
環境的極致穩定性
(Ultimate Environmental Stability)

精准管控熱、電、機合效應,
抑制數據漂移。
訊號的終極靈敏度
(Ultimate Signal Sensitivity)

捕捉微弱至pA(皮安培)
等级的電流。

訊號的專屬高速公路:星型接地(Star Grounding)

傳統菊鏈式接地:數位雜訊污染敏感訊號



問題:傳統接地產生共享路徑,導致地迴路(Ground Loops)背景干擾。
解方:為每個電路建立通往中央接地的直接路徑,消除干擾。

雙重優勢:為直流與高速量測奠定基石

全方位電磁屏蔽:隔絕隱形干擾

量測的穹頂
透過大面積接地層與優化結構防止系統像天線一樣接收空間雜訊。
創造純淨的黑色背景。
 

定位穩定性達11奈米
掌控熱與機械的微觀戰

-熱漂移控制(Thermal Drift Control):在高靈敏度或長時間變溫測試中,SJD將位置漂移抑制在11nm等級。
-為何重要:確保深針與Pad之間持續穩固的接觸。如果探針移動接觸電阻就會改變,IV數據就會失真。

消除數據中的「鬼影」:熱壓電效應補償

科學原理:焦電效應(Pyroelectric Effect)
溫度變化會感應出虚假的電荷(Ghost Voltage)導致IV曲線
在不同溫度下出現錯誤偏移。
SJD解方:自動抵消機制
深入考量熱、電、機三場耦合,設計能自動抵消感應電壓
確保數據只反映元件特性,而非環境溫度。

TXA結構:捕捉pA等級的微弱呼吸

極致靈敏(Ultimate Sensitivity)
具備將Pico-Ampere (皮安培)等級的微小電流穩定轉換為可測量信號的能力。
低寄生電容
優化的結構設計內部干擾最小化適用於高阻抗元件測試與微弱訊號捕捉。

圍堵每一顆電子:低於3nA的暗電流
漏電是敵人
任何不屬於待測元件的雜散電流都會扭曲結果。

 
雙重防禦
1.高阻抗隔雕單點接地與專利結構防止電流洩漏。
2.低暗電流環境將系統背景雜訊壓低至3nA以下。
就像在隔音室中聽到針掉落的聲音。

數據不說謊:SJD系統vs.典型系統
 

關鍵優勢
-更高德訊噪比 (Higher SNR)
-更準確的模型建立
(More Accurate Modeling)

系統性整合的巔峰

從星型接地到11nm穩定性再到TXA結構。
這就是「高速與精密電性量測」的全新定義。