高功率測試技術

高功率測試技術

駕馭極限:唯一同時掌握3kV高壓與100A大電流的晶圓級測試方案
專為第三代半導體(SiC/GaN)打造的絕對安全屏障。面對高耐壓、低損耗與急速開關的嚴苛物理挑戰,我們提供從實驗室到量產的完整防護。

Noto Sans TC突破物理極的兩大挑戰 Inter
為什么傳統探針台無法應對SiC/GaN 的測試需求?


LuPo壓強室技術:科學抑弧的頂峰

運用Paschen 定律(Paschens Law),從物理根源根除打火風險

1.局部正壓(Localized Positive Pressure)
建立局部高壓氣體環境,從物理層面提升空氣擊穿強度。
2.Gen.4 空氣軸承(Air Bearing)
採用非接觸式懸浮密封設計,確保壓力分佈恆定同時杜絕污染與磨損。


徹底消除kV級高壓測試下的電弧風險,確保人員與晶圓的絕對安全。
 

SmartClamp 智能鉗位:kA級電流的安全閥
主動電流平衡技術(Active Current Balancing)

1.智能分流(Intelligent Shunt):
在多探針並聯測試中,系統能自動偵測並平衡每一根探針的電流負載。
2.燒毁防護(Burn Protection):
防止因接觸電阻差異導致單一探針過載,杜絕探針與焊墊(Pad)的物理燒毁。


Multisite 高密度多工位測試
兼顧量產效率與高壓數據的純淨度

1.4x4高密度配置:
支援矩陣式排列測試大幅提升產能(UPH)

2.高壓串擾抑制(Crosstalk Suppression):
透過專業PCB布局與HV設計規則,有效隔離多個站點間的高壓干擾。

在追求量產速度的同時,確保每一顆晶片的測試數據都不受鄰近站點的高壓影響。
 
 
極端環境下的絕對穩定
-40 ° C200 ° C全溫域高壓防護
3000V 下的極低漏電
即使在高壓環境下,仍能將系統漏電流控制在<300pA確保絕緣性能。
3000V 下的極低漏電
即使在高壓環境下,仍能將系統漏電流控制在<300pA,確保絕緣性能。

 
/冷氣流保護
保護測試卡(Probe Card)受高温熱卡盤(HotChuck)損傷。

 


高功率測試技術
(High Power Test Technology)