高溫與低電流量測用探針卡 支援高溫量測及極低電流測試,最小可量測至 fA(飛安培)級 操作溫度範圍:低溫 -60°C 至 高溫 350°C 支援 4.5 吋矩形基板(Rectangular Substrate) 相容測試設備:4070 / 4080 系列測試機