高精度大行程定位
M40 微操作器可實現大範圍移動，同時保持高精度定位，確保探針操作的可靠性與準確性。
精密調整能力
- X、Y、Z 三軸行程皆為 ±6.5 mm，可進行靈活的精細定位
- 直線度達 3 μm，滿足高精度操作需求
- 每旋轉一圈的移動量為 0.5 mm
- 微分頭最小讀值為 10 μm，便於微小調整與位置重現
固定方式靈活
磁吸式固定，可快速 ON/OFF 操作，方便裝拆與定位
SJD AK-MS、AK-ACC
M40 微操作器
M40 微操作器
M40 微操作器可提供精準定位與細微調整，確保探針對位的準確性。
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