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Keysight B1505A 功率元件分析儀

Keysight B1505A 功率元件分析儀

B1505A 為 Agilent(現為 Keysight)推出的曲線追蹤儀(Curve Tracer)。曲線追蹤儀(又稱曲線測試儀)是一種電子測試設備,工程師可用來分析半導體元件的電性特性。

曲線追蹤儀內建電流與電壓源,用以激勵被測設備(EUT, Equipment Under Test)。在測試過程中,曲線追蹤儀會對 EUT 的兩個端點施加掃描電壓(swept voltage),並測量各電壓下的電流大小,從而取得元件的電流-電壓特性曲線。
DETAIL

Keysight B1505A 功率元件分析儀 / 曲線追蹤儀

Keysight B1505A 可對功率元件進行完整特性分析,量測範圍涵蓋 亞皮安電流級10 kV、1500 A,可評估新型功率元件(如 IGBT)及新材料(如 GaN、SiC)。其十插槽模組化主機架構,支援多種 SMU 模組與電容量測單元,可依需求靈活配置。

高精度電流/電壓量測能力

  • 寬量測範圍,結合低電平精密量測能力
  • 高電壓偏壓下精確亞皮安電流量測
  • 中電流量測能力(例如 1200 V 下 500 mA)
  • μΩ 等級導通阻抗(On-resistance)量測

脈衝與高功率測試

  • 10 μs 高功率脈衝量測
  • 高壓/高電流快速切換選項,用於 GaN 元件電流崩潰(Current Collapse)特性分析

電容與溫度量測

  • 可在 ±3 kV DC 偏壓下量測電容量
  • 溫度量測能力,支援元件熱特性分析

高效率測試設計

  • 自動切換高壓與高電流測試,無需重新接線
  • 標準測試夾具具安全聯鎖設計,適用於封裝功率元件測試
  • 已驗證並支援晶圓級高功率測試(最高 200 A)

模組化與系統擴充

  • 支援多種模組:
    • 高壓 SMU(HVSMU)、高電流 SMU(HCSMU)
    • 超高電流模組(UHC)、超高電壓模組(UHV)
    • 高壓中電流模組(HVMC)
    • 高功率 SMU(1 A / 200 V)、中功率 SMU(100 mA / 100 V)、中電流 SMU(1 A / 30 V 脈衝、100 mA / 30 V DC)
    • 多頻電容測量單元(1 kHz – 5 MHz)
  • 十插槽模組化主機,可依測試需求自由配置