真空半自動探針台

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日本 APOLLOWAVE 真空半自動探針台

日本 APOLLOWAVE 真空半自動探針台

APOLLOWAVE 真空半自動探針台結合自動化探針定位與可控真空環境，在有效降低污染風險的同時，提供精準的半導體元件電性測試，確保測試結果可靠且準確。
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DETAIL

日本 APOLLOWAVE 真空半自動探針台（4 探針定位器型）
高精度 × 真空環境 × 低電流測試
APOLLOWAVE 真空半自動探針台（4 探針定位器型）專為精密晶圓電性測試設計，結合可控真空環境與高精度定位，適合低電流測量及多樣化測試需求。可依客戶需求定制信號量測方案，提供穩定可靠的測試平台。

真空環境支援

  • 可對應 真空環境至 10⁻¹ Pa
  • 提供穩定、受控的測試環境，降低污染與干擾
高精度低電流測試
  • 支援 低電流測量，適合精密元件量測
  • 可依客戶需求提供 客製化信號量測方案
靈活載台設計
  • XY 軸可移動範圍 50 mm
  • 載台尺寸可支援 最高 100 mm
  • 多探針定位器設計，提升量測效率與靈活性

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