日本 APOLLOWAVE Alpha300：12 英吋半導體手動探針台
卓越的移動能力

• X-Y 軸： 300 x 300 mm 大範圍行程，支援快速移動。
• 定位機制： 氣浮式設計搭配測微器（Micrometer），兼顧速度與精度。

精準的 Z 軸控制

• 行程行程： 10 mm 細微移動量。
• 快調機制： 槓桿式粗調，支援 0, 0.3, 5 mm 三段式快速切換。

• 樣品固定： 支援多種 Chip Fixing 方式。
• 擴充性： alpha Series 專為多樣化量測應用設計。