SJD AK-M, AK-DS 、APW α 系列

日本 APOLLOWAVE 手動探針台 Alpha200CS

日本 APOLLOWAVE 手動探針台 Alpha200CS

Alpha200CS 這款 8 吋腔體式手動探針台提供精準的人控量測,並配備密封腔體以支援真空等特定受控測試環境,最大可相容 8 吋晶圓。
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DETAIL

日本 APOLLOWAVE ALPHA200CS 8英吋手動探針座 (腔體型)
這款專為研究與開發設計的 8 英吋手動探針座,結合了卓越的環境控制技術與靈敏的操作性能,特別適用於極端溫度下的精密電子元件特性評估。
1. 卓越的環境控制與信號保護
ALPHA200CS 配備了專利腔體設計,確保在量測微弱信號時不受外界干擾,並能應對極寬的溫度變化。

  • 極寬溫量測範圍: 支援 -60 °C 至 +350 °C 的溫度特性評估。
  • 低洩漏屏蔽腔體: 提供極低雜訊(Low Noise)環境,確保量測精度。
  • 防結露設計: 搭載緊湊型屏蔽罩,有效防止低溫測試時產生結露,保護樣品與探針。
2. 高效率的 X-Y 載台位移系統
透過氣浮式設計與微米級調整的結合,大幅提升了定位的效率與準確度。
  • 氣浮式快速移動: 採用氣浮軸承(Air Bearing),可實現 X-Y 軸的快速粗調定位。
  • 微米級精細對準: 結合測微計(Micrometer)進行 X-Y 軸精調,確保可靠的對準表現。
  • 大範圍行程: 具備 200 x 200 mm 的充足工作空間。
3. 多功能 Platen (座板) 升降機構
針對 Z 軸行程設計了多段位移模式,平衡了「快速換樣」與「精密觸針」的需求。
  • 雙速 Z 軸控制:
  • 粗調: 使用槓桿式快撥,可快速切換高度(0, 0.3, 5 mm)。
  • 精調: 使用測微計進行 10 mm 範圍內的微米級升降。

靈活操作: 讓使用者在更換樣品與實際下針測試之間,切換更加流暢。

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