JAPAN APOLLOWAVE ALPHA200 | 8 吋手動探針量測系統
專為大尺寸晶圓設計的高精密操控平台
Alpha200 屬於 APOLLOWAVE 旗艦級 alpha 系列，專為 8 吋 (200mm) 晶圓量測量身打造。本設備融合了極致的空間配置與靈活的操控性，是半導體研究、失效分析及電性特徵化（Characterization）的首選設備。
核心技術與規格
1. 高效率 XY 載台定位系統 (X-Y Chuck Stage)

• 大行程設計：提供 200mm x 200mm 的完整行程，全面覆蓋 8 吋晶圓測試需求。
• 空氣軸承快速移動 (Air Bearing)：搭載空氣軸承技術，支援粗調模式下的極速位移，實現快速目標對準。
• 微米級精密調節：結合分厘卡 (Micrometer) 旋鈕，可在定位後進行微細調整，確保對準路徑的絕對可靠。

• 快速槓桿切換：具備快速升降槓桿，可即時切換高度（0, 0.3, 5 mm），便於安全、快速地更換測試樣品。
• 精密高度補償：配備 10mm 精細行程調整，透過分厘卡微調針座面板高度，達成最理想的探針接觸壓力。

• alpha 系列通用性：承襲 alpha 系列直覺易用的操作邏輯，廣泛適用於 IV/CV、RF 等各種複雜量測。
• 高度靈活性：支援從 整片 8 吋晶圓 到 單個晶粒 (Chip Fixing) 的多樣化固定與量測。
• 人體工學與人性化設計：緊湊的機身設計結合流暢的操作手感，大幅提升量測效率。

• 8 吋晶圓級電性分析
• 高精密度 IV / CV 與 RF 量測
• 半導體失效分析 (Failure Analysis)
• 各類微電子元件特性評估