JAPAN APOLLOWAVE ALPHA150 | 6 英吋手動探針量測系統
卓越的操控性能與多功能的量測平台
APOLLOWAVE Alpha150 是一款專為6英吋 (150mm) 晶圓開發的手動探針系統。本設備結合了獨特的空氣軸承技術與精密調節機構，專為追求高效率、高精準對準的量測任務而設計。
核心控制系統
1. 精密 XY 載台定位 (X-Y Chuck Stage)

• 大行程快速移動：提供 150mm x 150mm 的行程範圍，支援最高 6 英吋晶圓。
• 空氣軸承技術 (Air Bearing)：採用空氣軸承設計實現極速粗調定位，搭配分厘卡 (Micrometer) 進行精密對準，確保量測過程穩定可靠。

• 雙層行程控制：

• 粗調快速切換：利用手動槓桿可快速切換高度（0, 0.3, 5 mm），方便進行樣品更換。
• 精細行程補償：具備 10mm 的微調行程，可透過分厘卡進行極精細的高度調整。

• alpha系列通用性設計：系統設計以直覺易用為核心，廣泛適用於各類半導體電性測試。
• 樣品固定功能：支援 Chip 級別的小尺寸樣品固定，提升量測靈活性。
• 人性化操作體驗 (User-friendly)：所有調節機構皆經過優化設計，即使長時間操作也能保持精確與舒適。

• 晶圓級與 Chip 級特性分析
• IV / CV 電性量測
• RF 射頻測試
• 元件失效分析