SJD AK-M, AK-DS 、APW α 系列

日本 APOLLOWAVE 手動探針台 Alpha100

日本 APOLLOWAVE 手動探針台 Alpha100

Alpha100 4吋手動探針台具備精密的手動操作控制,提供極佳的平台穩定性以實現高準確度的對準測試。支援最大 4 英吋晶圓,是半導體測試與研究領域中,兼具高性價比與專業效能的理想選擇。
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DETAIL

JAPAN APOLLOWAVE ALPHA100 | 4 英吋手動探針量測系統
精巧設計與極致操控的完美結合
APOLLOWAVE Alpha100 是一款專為 4 英吋(100mm)以下晶圓設計的精巧型手動探針台。本設備結合了空氣軸承(Air Bearing)技術與精密微調機構,專為追求高效率與高可靠性的實驗室量測環境而生。
【核心優勢與操控設計】
1. 高效率 XY 載台定位 (X-Y Chuck Stage)

  • 快速與精準並行:具備 100mm x 100mm 的大行程移動範圍。
  • 空氣軸承設計 (Air Bearing):採用空氣軸承技術支援粗調快速移動,搭配分厘卡(Micrometer)進行精密微調,實現快速且精確的定位。
2. 靈活的 Z 軸升降機制 (Platen Z-Movement)
  • 三段式快速切換:提供快速槓桿操作(可切換 0, 0.3, 5 mm 等高度),方便快速更換樣品或初步對準。
  • 精密行程微調:具備 10 mm 的微調行程,可透過分厘卡進行細微的高度補償,確保探針接觸的最佳壓力。
3. 人性化與精巧化設計
  • 節省空間 (Compact Design):針對實驗室有限空間優化,機身輕巧但不失穩定性。
  • 直覺化操作 (User-friendly):所有調節機構皆符合人體工學,大幅降低長時間操作的疲勞感。
【主要量測應用】
本設備專為提供準確且可靠的電性測試數據而設計,廣泛應用於:
  • IV / CV 特性分析
  • RF 射頻量測
  • 各類半導體元件基礎分析
     

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