JAPAN APOLLOWAVE ALPHA100 | 4 英吋手動探針量測系統
精巧設計與極致操控的完美結合
APOLLOWAVE Alpha100 是一款專為 4 英吋(100mm)以下晶圓設計的精巧型手動探針台。本設備結合了空氣軸承(Air Bearing)技術與精密微調機構,專為追求高效率與高可靠性的實驗室量測環境而生。
【核心優勢與操控設計】
1. 高效率 XY 載台定位 (X-Y Chuck Stage)
- 快速與精準並行:具備 100mm x 100mm 的大行程移動範圍。
- 空氣軸承設計 (Air Bearing):採用空氣軸承技術支援粗調快速移動,搭配分厘卡(Micrometer)進行精密微調,實現快速且精確的定位。
- 三段式快速切換:提供快速槓桿操作(可切換 0, 0.3, 5 mm 等高度),方便快速更換樣品或初步對準。
- 精密行程微調:具備 10 mm 的微調行程,可透過分厘卡進行細微的高度補償,確保探針接觸的最佳壓力。
- 節省空間 (Compact Design):針對實驗室有限空間優化,機身輕巧但不失穩定性。
- 直覺化操作 (User-friendly):所有調節機構皆符合人體工學,大幅降低長時間操作的疲勞感。
本設備專為提供準確且可靠的電性測試數據而設計,廣泛應用於:
- IV / CV 特性分析
- RF 射頻量測
- 各類半導體元件基礎分析


