SJD AK-S、APW AP 系列

日本 APOLLOWAVE AP-150 半自動化探針台

日本 APOLLOWAVE AP-150 半自動化探針台

AP-150 六吋半自動探針台提供高精度的手動與自動晶圓量測能力,搭載馬達驅動平台移動系統,支援可程式化測試流程,確保探針定位精準穩定,並可相容最高 6 吋晶圓,適用於研發與生產測試需求。
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DETAIL

Japan APOLLOWAVE 半自動探針台 AP-150
高精度・高功率・高頻量測的一站式解決方案
AP-150 是日本 APOLLOWAVE 推出的高效能半自動探針台,專為先進半導體元件量測而設計。系統可靈活因應低漏電、高電壓/高電流及毫米波高頻量測需求,協助研發與測試團隊實現接近測試機(Tester)等級的量測效能。


全方位量測能力,滿足高階測試需求
AP-150 可支援多種嚴苛量測條件,廣泛應用於功率元件、先進製程與高頻元件測試:

  • fA 等級低漏電流量測,適用於高靈敏度元件分析
  • 高功率量測能力,支援超過 3 kV / 100 A
  • 毫米波高頻量測,滿足高頻與次世代通訊元件測試需求
透過三軸探針(Triaxial)、高電壓三軸探針(HV Triaxial)及高電流探針(HC Probe)的整合應用,可實現穩定且高重現性的量測結果。
高頻量測最佳化設計
AP-150 可搭配 Allstron RF 探針,全面支援毫米波量測應用,並標配校正套件平台(Calibration Kit Stage),有效提升高頻量測準確度與操作便利性。
緊湊設計 × 高效操作
  • 機身深度僅約 500 mm,節省實驗室與產線空間
  • 高效能控制軟體,操作直覺、流程順暢,加速測試效率
  • 支援多元測試設定,靈活因應不同量測場景
彈性選配,因應未來擴充
依應用需求可選擇:
  • 垂直式探針對準功能

自動對準系統
提升測試精度,同時降低操作負擔。
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